FRT: Vollautomatisierte Anlagen zur Untersuchung von Halbleiter- und MEMS-Wafern weit

Diskutiere FRT: Vollautomatisierte Anlagen zur Untersuchung von Halbleiter- und MEMS-Wafern weit im Produktneuheiten Forum im Bereich HERSTELLER; (pressebox) 18.02.2008 - 18:04 Uhr - Effizienz und Durchlaufzeiten in Produktionsprozessen von Wafern verbessert die Fries Research & Technology...

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    (pressebox) 18.02.2008 - 18:04 Uhr - Effizienz und Durchlaufzeiten in Produktionsprozessen von Wafern verbessert die Fries Research & Technology GmbH (FRT) mit vollautomatisierten Anlagen zur metrologischen Wafervermessung. Eine neu entwickelte Software-Plattform ermöglicht die vollständige Automatisierung im Frontend- und Backendbereich. Durch passgenaue modulare Hardware können die Anlagen für unterschiedliche Wafergrößen und -formen sowie alle gängigen metrologischen Messaufgaben ausgelegt werden. Speziell zur Untersuchung von nicht-SEMI-konformen Wafern, wie aus dem MEMS-Bereich, steht nun eine umfassende Lösung bereit. Damit...

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